名称等仕様・品質等製造元
CNC3次元測定機ＰＲＩＳＭＯ ５ ＨＴＧ Ｓカールツァイス（株）
真円度測定機タリロンド262型ランクテーラーホブソン
CNC三次元測定機用データ処理装置Ｃａｌｙｐｓｏシステム（株）東京精密
超高倍率3次元複合顕微鏡ナノサーチ顕微鏡ＳＦＴ−３５００ほか島津製作所
表面粗さ測定機ｻｰﾌｺﾑ3000A-3DF-DX-S(株)東京精密
超高精度三次元測定器UA3P-300Panasonic
非接触式表面性状評価装置NewView6300Zygo
非接触式フィゾー干渉計GPI　XP/DZygo
4インチ光学原器TS　ｆ/0.65, f/1.5, f/3.3 Zygo
フィゾー干渉計用球面測定ジグ_ZYGO
非接触三次元デジタイザーCOMETSteinbichler
総合型金属顕微鏡DSX500,DSX100 オリンパス（株）
電界放射走査電子顕微鏡S-4500日立製作所
電子天秤MC210Sザルトリウス（株）
磁気探傷機ＰＲＡ ８０型（株）島津製作所
Ｘ線透過検査装置３００ＥＧ Ｂ２Ｌ型理学電気工業（株）
平坦度測定装置FT-900（ウェハ用）（株）ニデック
蛍光顕微鏡Ｅ４００−ＲＦＬ　１ニコン
材料試験高速解析システムFASTCAM SA-X（株）フォトロン
実体顕微鏡SZH-141オリンパス
金属顕微鏡XPF-UNRBニコン
ハイトゲージCERTO-CT60Mハイデンハイン
工場顕微鏡システムMM-11Uニコン
触針式表面形状測定装置DEKTAK150アルバック
金属顕微鏡システムBH3-MJLオリンパス
ナノ加工用イオンビーム装置SMI2050セイコーインスツルメンツ(株)
マイクロスコープKH-7700ハイロックス
光学顕微鏡MM-11Uニコン
高速カメラHAS-D3M（株）ディテクト
偏光顕微鏡ＢＨＳ ７５１ Ｐ型オリンパス光学工業（株）
ズーム顕微鏡DZ2-SHユニオン光学(株)
高精度CNC画像測定機NEXIV VMZ-R6555（株）ニコンインステック
3次元X線CTシステムTOSCANER-32300μFD(株)東芝
３Ｄ形状計測システムVMC7000M東京貿易テクノシステム
高分解能走査型プローブ顕微鏡 Dimension Icon ブルカージャパン
走査型白色干渉計 NewView9000アメテック（株）