名称等マイクロスコープ 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元ハイロックス 仕様・品質等KH-7700
用途等
詳細仕様
使用料230（円／時間） 導入年度平成19年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名櫻田 陽　　　
担当部署電子光応用開発部　ナノメカニカル制御Gr 副担当者名