名称等非接触式フィゾー干渉計 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元Zygo 仕様・品質等GPI XP/D
用途等

ガラス、金属などの反射面の平坦度、球面測定などの
形状測定

詳細仕様

測定原理:位相シフト干渉法
He-Neガスレーザー632.8nm
ビーム口径:4インチ
焦点合致範囲:-800から+1600mm(出射口より)

使用料580(円/時間) 導入年度平成19年度
設置場所本館 A棟1F:精密測定室 主担当者名久住 孝幸   
担当部署素形材プロセス開発部 先進プロセス・医工連携Gr 副担当者名中村 竜太