名称等CNC3次元測定機 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元カールツァイス（株） 仕様・品質等ＰＲＩＳＭＯ ５ ＨＴＧ?Ｓ
用途等

プローブを測定ワークに接触させて、機械部品の形状寸法、幾何偏差等を３次元の座標値として出力して測定・評価を行う装置です。
詳細仕様

測定範囲　：　７００×９００×４５０　ｍｍ
被測定物最大質量　：　１２００ｋｇ
測定精度　：　空間の測定精度
　　　　　　　±（２．７＋Ｌ／２５０）　μｍ
　　　　　　　　Ｌ：任意距離
測定スケール：　ガラス、セラミックス
　　　　　　　　分解能　０．５μｍ
プローブ径　：　φ２からφ８　ｍｍ
使用料470（円／時間） 導入年度平成7年度
設置場所本館　A棟1F:精密測定室 主担当者名加藤 勝