名称等非接触式表面性状評価装置 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元Zygo 仕様・品質等NewView6300
用途等

非接触での試料表面の粗さ、形状測定
詳細仕様

測手原理：走査型白色干渉法(SWLI+FDA)
垂直分解能：0.1nm
垂直測定範囲：1nmから15mm
測定視野：0.07×0.05から（測定レンズ依存）
対物レンズ：×2.5、×10、×50
使用料1,150（円／時間） 導入年度平成19年度
設置場所本館　A棟1F:精密測定室 主担当者名久住 孝幸