名称等非接触式表面性状評価装置 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元Zygo 仕様・品質等NewView6300
用途等

非接触での試料表面の粗さ、形状測定

詳細仕様

測手原理:走査型白色干渉法(SWLI+FDA)
垂直分解能:0.1nm
垂直測定範囲:1nmから15mm
測定視野:0.07×0.05から(測定レンズ依存)
対物レンズ:×2.5、×10、×50

使用料1,150(円/時間) 導入年度平成19年度
設置場所本館 A棟1F:精密測定室 主担当者名久住 孝幸   
担当部署素形材プロセス開発部 先進プロセス・医工連携Gr 副担当者名