名称等 | 触針式表面形状測定装置 | 設備分類 | 計測技術(形状寸法など) |
---|---|---|---|
製造元 | アルバック | 仕様・品質等 | DEKTAK150 |
用途等 | 薄膜の厚さ、材料表面の粗さ、エッチングの深さなどの測定に用いる |
||
詳細仕様 | ・垂直方向の測定分解能:0.1 nm以下 副担当:田口 |
使用料 | 250(円/時間) | 導入年度 | 平成21年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:精密測定室407 | 主担当者名 | 千葉 隆 |
名称等 | 触針式表面形状測定装置 | 設備分類 | 計測技術(形状寸法など) |
---|---|---|---|
製造元 | アルバック | 仕様・品質等 | DEKTAK150 |
用途等 | 薄膜の厚さ、材料表面の粗さ、エッチングの深さなどの測定に用いる |
||
詳細仕様 | ・垂直方向の測定分解能:0.1 nm以下 副担当:田口 |
使用料 | 250(円/時間) | 導入年度 | 平成21年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:精密測定室407 | 主担当者名 | 千葉 隆 |