名称等触針式表面形状測定装置 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元アルバック 仕様・品質等DEKTAK150
用途等

薄膜の厚さ、材料表面の粗さ、エッチングの深さなどの測定に用いる

詳細仕様

・垂直方向の測定分解能:0.1 nm以下
・表面段差の測定再現性:1σが1 nm以下
・走査距離:10 mm以上
・ステージサイズ:100 mm径以上
・サンプル観察倍率:50倍以上

副担当:田口

使用料250(円/時間) 導入年度平成21年度
設置場所高度技術研究館 1F:精密測定室407 主担当者名千葉 隆   
担当部署技術イノベーション部 技術コーディネート班 副担当者名