名称等フィゾー干渉計用球面測定ジグ 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元ZYGO 仕様・品質等フィゾー干渉計用球面測定ジグ
用途等

フィゾー型干渉計(ZYGO社製GPI-XP/D)と組み合わせて、球面形状の測定を可能にする治具

詳細仕様

○五軸マウント機構:
・φ90mm以下の被測定物をマウント
・被測定物の位置をXYZ軸及び二軸の傾きが調整可能
○曲率半径測定機能:
・ガイドレールに沿って移動するマウント機構の移動量を表示分解能1μm以下、測長可能距離1m以上で測定可能

使用料140(円/時間) 導入年度平成23年度
設置場所本館 A棟1F:精密測定室 主担当者名久住 孝幸   
担当部署素形材プロセス開発部 先進プロセス・医工連携Gr 副担当者名