名称等フィゾー干渉計用球面測定ジグ 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元ZYGO 仕様・品質等フィゾー干渉計用球面測定ジグ
用途等

フィゾー型干渉計（ZYGO社製GPI-XP/D）と組み合わせて、球面形状の測定を可能にする治具
詳細仕様

○五軸マウント機構：
・φ90mm以下の被測定物をマウント
・被測定物の位置をXYZ軸及び二軸の傾きが調整可能
○曲率半径測定機能：
・ガイドレールに沿って移動するマウント機構の移動量を表示分解能1μm以下、測長可能距離1m以上で測定可能
使用料140（円／時間） 導入年度平成23年度
設置場所本館　A棟1F:精密測定室 主担当者名久住 孝幸