名称等電界放射走査電子顕微鏡 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元日立製作所 仕様・品質等S-4500
用途等

電子ビームを試料に当てて試料から出てくる情報を検出器でとらえ、CRT上に拡大像を表示する顕微鏡です。同時に試料の組成元素は何か(定性)、どれくらいの量が入っているか(定量)なども、電子ビームによって出てきたX線を検出して知ることができます。

詳細仕様

分解能:1.5nm(at15KV)、(2次電子像)4.5nm(at 1KV)、(反射電子像)4.0nm(at20KV)
倍率:LMモード×20〜1,500、HRモード×50〜500,000
試料微動装置:X:0〜100mm、Y:0〜50mm、Z:3〜33mm(連続)
傾斜:−5〜+60度(ユーセントリック)、回転:360度(連続)

使用料620(円/時間) 導入年度平成8年度
設置場所本館 A棟2F:電子顕微鏡室 主担当者名木村 光彦   
担当部署素形材プロセス開発部 複合材料Gr 副担当者名