電界放射走査電子顕微鏡

電子ビームを試料に当てて試料から出てくる情報を検出器でとらえ、ＣＲＴ上に拡大像を表示する顕微鏡です。同時に試料の組成元素は何か（定性）、どれくらいの量が入っているか（定量）なども、電子ビームによって出てきたＸ線を検出して知ることができます。

分解能：１．５ｎｍ（ａｔ１５ＫＶ）、（２次電子像）４．５ｎｍ（ａｔ　１ＫＶ）、（反射電子像）４．０ｎｍ（ａｔ２０ＫＶ）
倍率：ＬＭﾓｰﾄﾞ×20〜1,500、ＨＲﾓｰﾄﾞ×50〜500,000
試料微動装置：Ｘ：０〜１００ｍｍ、Ｙ：０〜５０ｍｍ、Ｚ：３〜３３ｍｍ（連続）
傾斜：−５〜＋６０度（ユーセントリック）、回転：３６０度（連続）