名称等超高精度三次元測定器 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元Panasonic 仕様・品質等UA3P-300
用途等

低いプローブ接触測定力にて被測定物を破壊することなく曲面の形状を高精度に測定する装置
詳細仕様

・測定範囲（X×Y×Z）：30×30×20mm以内
・三次元形状測定、三次元MAP表示が可能
・測定荷重：接触力が0.25mN以下
・Z軸繰り返し測定精度：50nm
・測定最大傾斜角度：70度以上
使用料2,930（円／時間） 導入年度平成20年度
設置場所本館　A棟1F:精密測定室 主担当者名久住 孝幸