名称等4インチ光学原器 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元Zygo 仕様・品質等TS　ｆ/0.65, f/1.5, f/3.3
用途等

フィゾー型干渉計（ZYGO社製GPI-XP/D）と組み合わせて球面形状の表面性状を計測するために使用
詳細仕様

・TS f/0.65(4inch)
・TS f/1.5 (4inch)
・TS f/3.3(4inch)

○面精度が横型使用時において有効（φ102mm）内のPVにてλ/20(λ＝632.8nm)以下が保証
○0.1～40％の反射率に対応
使用料300（円／時間） 導入年度平成21年度
設置場所本館　A棟1F:精密測定室 主担当者名久住 孝幸