名称等 | 4インチ光学原器 | 設備分類 | 計測技術(形状寸法など) |
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製造元 | Zygo | 仕様・品質等 | TS f/0.65, f/1.5, f/3.3 |
用途等 | フィゾー型干渉計(ZYGO社製GPI-XP/D)と組み合わせて球面形状の表面性状を計測するために使用 |
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詳細仕様 | ・TS f/0.65(4inch) ○面精度が横型使用時において有効(φ102mm)内のPVにてλ/20(λ=632.8nm)以下が保証 |
使用料 | 300(円/時間) | 導入年度 | 平成21年度 |
設置場所 | 本館 A棟1F:精密測定室 | 主担当者名 | 久住 孝幸 |