名称等4インチ光学原器 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元Zygo 仕様・品質等TS f/0.65, f/1.5, f/3.3
用途等

フィゾー型干渉計(ZYGO社製GPI-XP/D)と組み合わせて球面形状の表面性状を計測するために使用

詳細仕様

・TS f/0.65(4inch)
・TS f/1.5 (4inch)
・TS f/3.3(4inch)

○面精度が横型使用時において有効(φ102mm)内のPVにてλ/20(λ=632.8nm)以下が保証
○0.1~40%の反射率に対応

使用料300(円/時間) 導入年度平成21年度
設置場所本館 A棟1F:精密測定室 主担当者名久住 孝幸   
担当部署素形材プロセス開発部 先進プロセス・医工連携Gr 副担当者名