名称等工場顕微鏡システム 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元ニコン 仕様・品質等MM-11U
用途等

大寸法試料表面の観察
詳細仕様

Ｚ軸ｽﾄﾛｰｸ:80mm、ＷＤ:8.5(×20)、微分干渉、多重干渉

デジタルスケール付き(0.001mm単位)
使用料2,990（円／時間） 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館　1F:ＣＲ微細加工411 主担当者名伊勢 和幸　　　
担当部署先端機能素子開発部　機能性材料Gr 副担当者名田口 香