名称等 | 工場顕微鏡システム | 設備分類 | 計測技術(形状寸法など) |
---|---|---|---|
製造元 | ニコン | 仕様・品質等 | MM-11U |
用途等 | 大寸法試料表面の観察 |
||
詳細仕様 | Z軸ストローク:80mm、WD:8.5(×20)、微分干渉、多重干渉 デジタルスケール付き(0.001mm単位) |
使用料 | 2,990(円/時間) | 導入年度 | 平成4年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:CR微細加工411 | 主担当者名 | 伊勢 和幸 |
担当部署 | 先端機能素子開発部 機能性材料Gr | 副担当者名 | 田口 香 |
名称等 | 工場顕微鏡システム | 設備分類 | 計測技術(形状寸法など) |
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製造元 | ニコン | 仕様・品質等 | MM-11U |
用途等 | 大寸法試料表面の観察 |
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詳細仕様 | Z軸ストローク:80mm、WD:8.5(×20)、微分干渉、多重干渉 デジタルスケール付き(0.001mm単位) |
使用料 | 2,990(円/時間) | 導入年度 | 平成4年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:CR微細加工411 | 主担当者名 | 伊勢 和幸 |
担当部署 | 先端機能素子開発部 機能性材料Gr | 副担当者名 | 田口 香 |