名称等工場顕微鏡システム 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元ニコン 仕様・品質等MM-11U
用途等

大寸法試料表面の観察

詳細仕様

Z軸ストローク:80mm、WD:8.5(×20)、微分干渉、多重干渉

デジタルスケール付き(0.001mm単位)

使用料2,990(円/時間) 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館 1F:CR微細加工411 主担当者名伊勢 和幸