名称等高分解能走査型プローブ顕微鏡 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元ブルカージャパン 仕様・品質等Dimension Icon
用途等試料の表面と探針の原子間にはたらく力を検出して表面構造分析を行う装置。探針を変更することにより、弾性率マッピングや、磁気力像などを得ることができる。
詳細仕様測定方式：光てこ＋チップスキャン方式 試料搭載最大サイズ：φ300mm×t15mm スキャナー走査範囲：X90×Y90µm×Z10µm Zノイズレベル：30pm以下
使用料2,000（円／時間） 導入年度R2年度
設置場所高度技術研究館　1F:精密測定室 主担当者名久住　孝幸