名称等超高倍率3次元複合顕微鏡 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元島津製作所 仕様・品質等ナノサーチ顕微鏡ＳＦＴ－３５００ほか
用途等

レーザー顕微鏡とSPM顕微鏡が一体となった顕微鏡です。ミリメートルオーダーからナノメートルオーダーの形状測定、粗さ測定が非接触で可能です。
詳細仕様

走査型レーザ顕微鏡機能
　水平方向分解能：150nm以下
　高さ方向分解能： 10nm以下
走査型プローブ顕微鏡機能
　水平方向分解能： 10nm以下
　高さ方向分解能： 1nm以下
使用料1,680（円／時間） 導入年度平成17年度
設置場所本館　A棟1F:精密測定室 主担当者名加藤 勝