名称等平坦度測定装置 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元（株）ニデック 仕様・品質等FT-900（ウェハ用）
用途等

半導体ウェーハーのSEMI規格にある平坦度等の基板品位を測定する装置。
<活用事例>
ラップ上がりの梨地状基板の平坦度検査
透明基板の表裏平坦度評価
詳細仕様

SEMI準拠（TV,GBIR,GFLR, GF3D,SORI）,BOW, Taperを評価
適用試料サイズ:最大φ200mm
測定分解能：0.01μm
測定レンジ：200μm
使用料1,270（円／時間） 導入年度平成25年度
設置場所本館　C棟1F:メカトロニクス研究室Ⅱ 主担当者名久住 孝幸