名称等平坦度測定装置 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元(株)ニデック 仕様・品質等FT-900(ウェハ用)
用途等

半導体ウェーハーのSEMI規格にある平坦度等の基板品位を測定する装置。
<活用事例>
ラップ上がりの梨地状基板の平坦度検査
透明基板の表裏平坦度評価

詳細仕様

SEMI準拠(TV,GBIR,GFLR, GF3D,SORI),BOW, Taperを評価
適用試料サイズ:最大φ200mm
測定分解能:0.01μm
測定レンジ:200μm

使用料1,270(円/時間) 導入年度平成25年度
設置場所本館 C棟1F:メカトロニクス研究室Ⅱ 主担当者名久住 孝幸   
担当部署素形材プロセス開発部 先進プロセス・医工連携Gr 副担当者名