名称等ナノ加工用イオンビーム装置 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元セイコーインスツルメンツ㈱ 仕様・品質等SMI2050
用途等

SIM像観察(分解能5nm)、マスクレス任意形状加工、任意形状カーボン堆積機能

詳細仕様

イオン源: Ga液体金属
加速電圧: 30 kV
最大プローブ電流: 20 nA
試料サイズ: 50 mm角以下,12 mm厚以下
試料ステージ: xyz並進,R回転,T回転

使用料4,090(円/時間) 導入年度平成14年度
設置場所高度技術研究館 1F:試験室(メカトロA)414 主担当者名近藤 祐治   
担当部署先端機能素子開発部 スピン・ナノデバイスGr 副担当者名田口 香