名称等ナノ加工用イオンビーム装置 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元セイコーインスツルメンツ㈱ 仕様・品質等SMI2050
用途等

SIM像観察(分解能5nm)､マスクレス任意形状加工､任意形状カーボン堆積機能
詳細仕様

イオン源: Ga液体金属
加速電圧: 30 kV
最大プローブ電流: 20 nA
試料サイズ: 50 mm角以下，12 mm厚以下
試料ステージ: xyz並進，R回転，T回転
使用料4,090（円／時間） 導入年度平成14年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロA）414 主担当者名伊勢 和幸