名称等表面粗さ測定機 設備分類計測技術(形状寸法など)
製造元㈱東京精密 仕様・品質等サーフコム3000A-3DF-DX-S
用途等

スタイラスと呼ばれる測定子をワークに接触させて、ワークの表面粗さや輪郭形状を測定する装置です。

詳細仕様

最大測定長さ:200mm
Z方向分解能:±0.01μm
Zレンジ:±12mm

使用料120(円/時間) 導入年度平成13年度
設置場所本館 A棟1F:精密測定室 主担当者名加藤 勝