名称等仕様・品質等製造元
電源装置ＭＯＤＥＬ６０９Ｄ ６トレックジャパン（株）
プリント基板加工システムProtomat　C100HF日本LPKF株式会社
静電容量微小変位計PS-Ⅲ-5Dナノテックス
FFTアナライザー（35670A）35670Aアジレントテクノロジー
超高分解能光学スケールBH20Sony Manufacturing Systems Corporation
平面検出型光学スケールBZSony Manufacturing Systems Corporation
FFTアナライザー（DS-2100）DS-2100小野測器
高分解能・光学スケール（BH-20）BH20ソニーマニュファクチュアリングシステムズ(株)
高分解能・光学スケール（BH-25）BH25,　BD96-B1400HC特 ｿﾆｰﾏﾆｭﾌｧｸﾁｭｱﾘﾝｸﾞｼｽﾃﾑｽﾞ
振動周波数分析器FRA5097株式会社エヌエフ回路設計ブロック
ピコメートル分解能非接触変位計BN100（株）マグネスケール
高分解能反射型レーザースケールBF1,BD-96 （株）マグネスケール
静電力発生用高圧電源システムHAR-30P73.3松定プレシジョン
ハイスピードマイクロスコープVW-9000キーエンス
PC制御画像認識塗布システムSHOTMASTER SM300DSS-3A+IMAGE MASTER 350PCSmart武蔵エンジニアリング株式会社
双腕型協働ロボットNextage（株）川田工業
協働ロボット遠隔操作システムUR5e／V-Sido Webconnectユニバーサルロボット／アスラテック