名称等薄膜構造評価用高輝度X線回折装置 設備分類解析技術
製造元理学電機 仕様・品質等ATX-G
用途等

定格出力:18Kw、X線源:Cu、5軸ゴニオメータ
用途:単結晶薄膜、エピタキシャル薄膜の結晶構造評価・解析に用いる。

詳細仕様

測定試料の大きさ:1インチ角以上3インチ丸以内、厚み:1mm以下

使用料5900(円/時間) 導入年度平成12年度
設置場所高度技術研究館 1F:X線解析室400 主担当者名鈴木 淑男   
担当部署先端機能素子開発部 スピン・ナノデバイスGr 副担当者名