名称等薄膜構造評価用高輝度Ｘ線回折装置 設備分類解析技術
製造元理学電機 仕様・品質等ATX-G
用途等

定格出力：１８Ｋｗ、Ｘ線源：Ｃｕ、５軸ゴニオメータ
用途：単結晶薄膜、エピタキシャル薄膜の結晶構造評価・解析に用いる。
詳細仕様

測定試料の大きさ：1インチ角以上3インチ丸以内、厚み：1mm以下
使用料5900（円／時間） 導入年度平成12年度
設置場所高度技術研究館　1F:Ｘ線解析室400 主担当者名鈴木 淑男　　　
担当部署先端機能素子開発部　スピン・ナノデバイスGr 副担当者名