名称等高分解能反射型レーザースケール 設備分類メカトロニクス技術
製造元（株）マグネスケール 仕様・品質等BF1,BD-96
用途等

位置決め精度測定，工作機械，バイオ分野の顕微作業，細胞マイクロマニピュレータ等の位置決め機構の評価装置。
＜活用事例＞
ナノスケール位置決め装置，高速・高精度，ダイナミックレンジの高い非接触変位センサ
詳細仕様

最高分解能：50 pm
測定可能最大可動長：500μm
最大応答速度：1800 mm/s
マグネスケールプロトコル対応
使用料100（円／時間） 導入年度平成26年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名荒川　亮