名称等 | 静電容量微小変位計 | 設備分類 | メカトロニクス技術 |
---|---|---|---|
製造元 | ナノテックス | 仕様・品質等 | PS-Ⅲ-5D |
用途等 | 測定分解能:5nm、測定範囲:0から50μm、プローブ外径:4mm、応答周波数:1KHz |
||
詳細仕様 | 使用料 | 110(円/時間) | 導入年度 | 平成16年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:化学実験室405 | 主担当者名 | 荒川 亮 |
担当部署 | 電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr | 副担当者名 |
名称等 | 静電容量微小変位計 | 設備分類 | メカトロニクス技術 |
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製造元 | ナノテックス | 仕様・品質等 | PS-Ⅲ-5D |
用途等 | 測定分解能:5nm、測定範囲:0から50μm、プローブ外径:4mm、応答周波数:1KHz |
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詳細仕様 | 使用料 | 110(円/時間) | 導入年度 | 平成16年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:化学実験室405 | 主担当者名 | 荒川 亮 |
担当部署 | 電子光応用開発部 ナノメカニカル制御Gr | 副担当者名 |