名称等静電容量微小変位計 設備分類メカトロニクス技術
製造元ナノテックス 仕様・品質等PS-Ⅲ-5D
用途等

測定分解能：5nm、測定範囲：0から50μm、プローブ外径：4mm、応答周波数：１KHz
詳細仕様
使用料110（円／時間） 導入年度平成16年度
設置場所高度技術研究館　1F:化学実験室405 主担当者名荒川　亮　　　
担当部署電子光応用開発部　ナノメカニカル制御Gr 副担当者名