名称等高分解能・光学スケール 設備分類メカトロニクス技術
製造元ソニーマニュファクチュアリングシステムズ 仕様・品質等BH25, BD96-B1400HC特
用途等

被測定物体から反射、散乱された光ビームの位置変化を光の回折と干渉を利用して、明暗の縞(しま)を作り出し、この明暗の変化をカウントして位置検出する

詳細仕様

①測定分解能:0.05nm以下
②測定範囲:100mm以上
③スケール精度:±100nm以下
④繰り返し精度:位置決め制御目標値±1nm以下
⑤光源:半導体レーザー
⑥検出原理:格子干渉式
⑦応答速度:100mm/sec以上
⑧スケール荷重:50g以下

使用料120(円/時間) 導入年度平成21年度
設置場所高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 主担当者名荒川 亮