名称等 | 高分解能・光学スケール | 設備分類 | メカトロニクス技術 |
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製造元 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ | 仕様・品質等 | BH25, BD96-B1400HC特 |
用途等 | 被測定物体から反射、散乱された光ビームの位置変化を光の回折と干渉を利用して、明暗の縞(しま)を作り出し、この明暗の変化をカウントして位置検出する |
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詳細仕様 | ①測定分解能:0.05nm以下 |
使用料 | 120(円/時間) | 導入年度 | 平成21年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:試験室(メカトロB)413 | 主担当者名 | 荒川 亮 |