| 名称等 | 高分解能・光学スケール | 設備分類 | メカトロニクス技術 |
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| 製造元 | ｿﾆｰﾏﾆｭﾌｧｸﾁｭｱﾘﾝｸﾞｼｽﾃﾑｽﾞ | 仕様・品質等 | BH25, BD96-B1400HC特 |
| 用途等 | 被測定物体から反射、散乱された光ビームの位置変化を光の回折と干渉を利用して、明暗の縞（しま）を作り出し、この明暗の変化をカウントして位置検出する |
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| 詳細仕様 | ①測定分解能：0.05nm以下 |
使用料 | 120（円／時間） | 導入年度 | 平成21年度 |
| 設置場所 | 高度技術研究館 1F:試験室（メカトロB）413 | 主担当者名 | 荒川 亮 |
