分光エリプソメーター(Spectroscopic Ellipsometer)は光反射による偏光状態の変化を測定し、フィッティング解析することにより光学定数や膜厚、薄膜構造などを解析する装置です。このたび反射率測定モジュールが追加されました。これは分光反射率や分光透過率を測定するシステムで、バンドパスフィルターや反射防止膜などの光学薄膜製品の特性評価ができるようになりました。
詳しくはパンフレットをご覧ください。また、ご興味がある場合にはオプトエレクトロニクスグループの近藤までお問合せください。