分光エリプソメーター(Spectroscopic Ellipsometer)は光反射による偏光状態の変化を測定し、フィッティング解析することにより光学定数や膜厚、薄膜構造などを解析する装置です。この計測手法は高い膜厚感度、非破壊測定、高速測定といった特徴があるため、幅広い分野の薄膜解析に適しています。具体的には、光学分野、半導体分野、磁性分野、化学分野などの薄膜の解析が挙げられます。

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分光エリプソメーターパンフレット