名称等仕様・品質等製造元
イオンスパッタ装置JUC-5000日本電子
静電式パターニング装置QDX500-V-XCエンジニアリングシステム(株)
スパッタリング用パルス電源RPG-50A-00日本MKS
スパッタ・蒸着複合装置SPS506トッキ
分子線エピタキシー装置EW-100Sエイコー・エンジニアリング
MEMS対応型マスクアライナMA6BSAズース・マイクロテック
レーザー直接描画装置DWL 200UVハイデルベルク社
スピンコータMS-A150ミカサ株式会社
一軸面内磁場印加マニュアルプローバーHMP-400SMS-Entry型ハイソル(株)
卓上プラズマエッチング装置TP-50B三友製作所