名称等 | イオンスパッタ装置 | 設備分類 | 薄膜技術 |
---|---|---|---|
製造元 | 日本電子 | 仕様・品質等 | JUC-5000 |
用途等 | 電子顕微鏡での観察の際に試料表面に導電膜をコーティング |
||
詳細仕様 | マグネトロン方式、タ-ゲット:Pt,Au,Pt-Pd,C,Al |
使用料 | 2,040(円/時間) | 導入年度 | 平成4年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:走査型電子顕微鏡室401 | 主担当者名 | 岡田 紀子 |
担当部署 | 技術イノベーション部 技術コーディネート班 | 副担当者名 |
名称等 | イオンスパッタ装置 | 設備分類 | 薄膜技術 |
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製造元 | 日本電子 | 仕様・品質等 | JUC-5000 |
用途等 | 電子顕微鏡での観察の際に試料表面に導電膜をコーティング |
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詳細仕様 | マグネトロン方式、タ-ゲット:Pt,Au,Pt-Pd,C,Al |
使用料 | 2,040(円/時間) | 導入年度 | 平成4年度 |
設置場所 | 高度技術研究館 1F:走査型電子顕微鏡室401 | 主担当者名 | 岡田 紀子 |
担当部署 | 技術イノベーション部 技術コーディネート班 | 副担当者名 |