名称等イオンスパッタ装置 設備分類薄膜技術
製造元日本電子 仕様・品質等JUC-5000
用途等

電子顕微鏡での観察の際に試料表面に導電膜をコーティング

詳細仕様

マグネトロン方式、タ-ゲット:Pt,Au,Pt-Pd,C,Al

使用料2,040(円/時間) 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館 1F:走査型電子顕微鏡室401 主担当者名岡田 紀子   
担当部署技術イノベーション部 技術コーディネート班 副担当者名