名称等イオンスパッタ装置 設備分類薄膜技術
製造元日本電子 仕様・品質等JUC-5000
用途等

電子顕微鏡での観察の際に試料表面に導電膜をコーティング
詳細仕様

ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝ方式、ﾀ-ｹﾞｯﾄ:Pt,Au,Pt-Pd,C,Al
使用料2,040（円／時間） 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館　1F:走査型電子顕微鏡室401 主担当者名岡田 紀子