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スパッタリング用パルス電源
スパッタリング用パルス電源
投稿日 : 2016年1月12日
名称等
スパッタリング用パルス電源
設備分類
薄膜技術
製造元
日本MKS
仕様・品質等
RPG-50A-00
用途等
スパッタの際の電力を供給する電源として、特に酸化膜を高品位に作製できるようにするためのパルス電源。
詳細仕様
パルス周波数 50-250 kHz、出力デューティ比 0-40%、最大出力 5kW、逆バイアス印加
使用料
290(円/時間)
導入年度
平成17年度
設置場所
高度技術研究館 1F:CR薄膜作製409
主担当者名
内田 勝
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