名称等静電式パターニング装置 設備分類薄膜技術
製造元エンジニアリングシステム(株) 仕様・品質等QDX500-V-XC
用途等

微粒子や有機物等を分散・溶解させた液材と基板間に電圧を印加し、発生した静電引力により液剤を吐出・噴霧し、微小形状を直接形成する装置
<活用事例>
 マスクレスでの微小形状の直接形成や静電方式による塗布
 落射観察による特定箇所への直接形状形成(配線リペア等)

詳細仕様

液材吐出方式:静電方式(描画及び塗布)
描画走査方式:独自データ形式によるベクタースキャン
液材吐出先端口径:標準25、40、75、200 μm
点描画形成ドット径:最小20 μm以下
線描画形成ライン幅:最小30 μm以下
常温時対応液材粘度:最大5 Pa・s以上
描画範囲:XY方向各50 mm以内
Z軸高さ方向調整量:100 mm以内

使用料1,130(円/時間) 導入年度平成25年度
設置場所高度技術研究館 1F:精密加工室406 主担当者名伊勢 和幸   
担当部署先端機能素子開発部 機能性材料Gr 副担当者名