名称等静電式パターニング装置 設備分類薄膜技術
製造元エンジニアリングシステム（株） 仕様・品質等QDX500-V-XC
用途等

微粒子や有機物等を分散・溶解させた液材と基板間に電圧を印加し、発生した静電引力により液剤を吐出・噴霧し、微小形状を直接形成する装置
<活用事例>
　マスクレスでの微小形状の直接形成や静電方式による塗布
　落射観察による特定箇所への直接形状形成（配線リペア等）
詳細仕様

液材吐出方式：静電方式（描画及び塗布）
描画走査方式：独自データ形式によるベクタースキャン
液材吐出先端口径：標準25、40、75、200 μm
点描画形成ドット径：最小20 μm以下
線描画形成ライン幅：最小30 μm以下
常温時対応液材粘度：最大5 Pa･s以上
描画範囲：XY方向各50 mm以内
Z軸高さ方向調整量：100 mm以内
使用料1,130（円／時間） 導入年度平成25年度
設置場所高度技術研究館　1F:精密加工室406 主担当者名伊勢 和幸