名称等スピンコータ 設備分類薄膜技術
製造元ミカサ株式会社 仕様・品質等MS-A150
用途等

アライナでマスク形状を転写するのに用いるレジストの処理を行う
詳細仕様

○スピンコータ
・搭載可能な最大ウェーハサイズは、φ6インチ以上
・回転数は、最低が50rpm以下、最大が6000rpm以上
○装備品
・用卓上ドラフト
・ホットプレート：温度調節範囲：室温～200℃以上
・超音波洗浄機：500mlビーカー
・クリーン温風循環乾燥機：クラス1000以上
・オートドライデシケータ
使用料140（円／時間） 導入年度平成21年度
設置場所高度技術研究館　2F:セミナールーム441 主担当者名内田　勝