本設備は白色LED光源から干渉対物レンズを通した白色光によって、被測定物の反射光と対物レンズ内の参照面からの反射光との間の干渉像を取得することで、サブナノメートルオーダーの垂直分解能で三次元表面形状像を非接触計測する装置です。

　樹脂、金属加工面、光学研磨面、半導体デバイスなど、様々な材料の形状測定に活用することかできます。

　詳しくはこちらのチラシをご確認下さい。