名称等仕様・品質等製造元
イオンスパッタ装置JUC-5000日本電子
静電式パターニング装置QDX500-V-XCエンジニアリングシステム（株）
スパッタリング用パルス電源RPG-50A-00日本MKS
MEMS対応型マスクアライナMA6BSAズース･マイクロテック
スピンコータMS-A150ミカサ株式会社
卓上プラズマエッチング装置TP-50B三友製作所