本設備は、極低荷重で圧子を試料に押し込むことにより得られる荷重-押込み深さ-時間の関係から、微小領域の硬さ、ヤング率、クリープ特性、粘弾性、その他機械的特性を評価する装置です。

　金属材料や樹脂材料のほか、表面処理材、積層材、薄膜、複合材料等に対して適用可能です。

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