本設備は微小探針先端原子と試料表面原子の間に働く原子間力を利用して原子構造レベルの試料表面形状の評価が可能な装置です。また、走査探針を変更することによって弾性率マッピングや、磁気力(MFM)像、電気力(EFM)像などを得ることができます。

 

　設備の詳細は以下のパンフレットもご覧ください。
高分解能走査型プローブ顕微鏡のパンフレット