本装置は短冊状の基板またはウェハについて3点曲げ法によるヤング率の測定を行います。圧子の押し込みはステッピングモーター、荷重測定は電子天秤、変位はフォトニックセンサーで行い、基板への押し込み荷重と基板たわみの関係からヤング率を算出します。詳しくはパンフレットをご覧ください。

超微小硬度計によるヤング率測定について

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