電子ビームを試料に照射し放出される二次電子等を検出器でとらえ、ディスプレイ上に拡大像を表示する顕微鏡です。同時に発生する特性Ｘ線を検出することで定性分析、定量分析などもできます。さらに、試料に照射された電子が拡散し結晶で回折された反射電子の回折パターンを解析し、結晶方位を知ることで微小なサブミクロン領域の結晶解析を行うことも可能です。デバイス等微細構造の観察や解析、不良発生時の解析に用います。また、本設備は低加速電圧や低真空モードを用いることで電気が通りにくい試料やプラスチックなど熱に弱い試料を高解像度で観察することが可能です。
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