本設備は、試料の表面の凹凸を簡便に高精度で測定できる装置です。試料を台の上にのせ、２つのネジを調整するだけで、凹凸が１本０．３ミクロンの等高線となってモニター画面上に表示されます。
詳しくはパンフレットをご覧下さい。
レーザー干渉計パンフレット
