本設備は試料の最表面数ナノメートルオーダーの元素分析、化学状態の測定を行う装置です。また、Arエッチング機能を併用することにより、試料表面の深さ方向の組成変化を調べることも可能です。
詳しくはパンフレットをご覧ください。
光電子分光装置パンフレット
