非接触で表面の形状を垂直分解能0.1nmで高速に三次元定量化できる装置です。三次元の表面性状計測や二次元プロファイルの粗さ計測などを顕微鏡のような使い方で簡単に行えます。顕微鏡の他、粗さ計、形状計測機として、様々な用途に利用可能な表面に関する万能計測機です。

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非接触式表面性状評価装置パンフレット