試料を前処理なしで、数分程度で手軽に元素分析できる装置です。10cm角程度の比較的大きな試料が挿入可能であることが特徴です。また、メッキ膜など、数ミクロンオーダーの膜厚の測定が可能です。

詳しくはパンフレットをご覧ください。

蛍光X線膜厚計パンフレット