本装置は、基板上の膜厚段差、表面粗さ、うねりなどの表面形状の測定を行う装置です。使用頻度の高いコマンドはすべてアイコン表示されており、簡単な操作で高精度な測定・データ解析を行うことができます。
詳しくはパンフレットをご覧ください。
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お知らせ
本装置は、基板上の膜厚段差、表面粗さ、うねりなどの表面形状の測定を行う装置です。使用頻度の高いコマンドはすべてアイコン表示されており、簡単な操作で高精度な測定・データ解析を行うことができます。
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