本装置は、基板上の膜厚段差、表面粗さ、うねりなどの表面形状の測定を行う装置です。使用頻度の高いコマンドはすべてアイコン表示されており、簡単な操作で高精度な測定・データ解析を行うことができます。

詳しくはパンフレットをご覧ください。

触針式表面形状測定装置パンフレット