ナノオーダーの微細加工技術として光リソグラフィー，電子リソグラフィー等の技術が注目されています．本装置は，これらナノオーダーの微細加工形状の評価機として，新開発のアキュレートスキャナと低コヒーレント光学系（光干渉の少ない光学系）の採用により，ナノオーダーの形状をより正確に高い精度で計測します．また，試料サイズは従来同様6インチまで対応しており，マイクロレンズや半導体等の大型試料を切断することなくそのままホルダーに装着できます．

詳しくはパンフレットをご覧ください。

走査型プローブ顕微鏡パンフレット