セラミックスなどの高硬度材料を、研磨深さを制御しながら、短い作業時間で研磨する、研究室規模の加工装置です。剛性が大きく高負荷に耐える構造のため再現性が良好です。また、ダイヤモンド懸濁液や潤滑剤が、一定供給されるように制御が可能となっております。研磨時間、研磨圧力、回転数、研磨時の冷却水、琢磨時の潤滑液、ダイヤモンド懸濁液の粒子径などが選択できます。簡単な操作で、試料の研磨・琢磨が可能です。

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セラミック自動研磨装置パンフレット