名称等仕様・品質等製造元
真空チャンバーφ５００×Ｈ２５０㎜（内寸）材質：ＳＵＳ３０４日本精機
微粉砕機MB-1中央化工機（株）
イオンビームガンEMIS-212アリオス
イオンミリング装置ミラトロンⅣコモンウェルス
ラビング装置MR-100E.H.C(株)