名称等真空チャンバー 設備分類加工技術（表面処理改質）
製造元日本精機 仕様・品質等φ５００×Ｈ２５０㎜（内寸）材質：ＳＵＳ３０４
用途等
詳細仕様
使用料280（円／時間） 導入年度平成14年度
設置場所本館　B棟1F:焼結・接合研究室 主担当者名黒沢　憲吾