| 名称等 | 真空チャンバー | 設備分類 | 加工技術（表面処理改質） |
|---|---|---|---|
| 製造元 | 日本精機 | 仕様・品質等 | φ５００×Ｈ２５０㎜（内寸）材質：ＳＵＳ３０４ |
| 用途等 | |||
| 詳細仕様 | 使用料 | 280（円／時間） | 導入年度 | 平成14年度 |
| 設置場所 | 本館 B棟1F:焼結・接合研究室 | 主担当者名 | 木村 光彦 |
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