名称等イオンミリング装置 設備分類加工技術（表面処理改質）
製造元コモンウェルス 仕様・品質等ミラトロンⅣ
用途等

ｱﾙｺﾞﾝｲｵﾝによる表面の微細加工
詳細仕様

ﾋﾞｰﾑ径:φ4″､基板ｻｲｽﾞ:最大φ3″､加速電圧:200から2,000V、最大ﾋﾞｰﾑ電流:250mA
使用料1,940（円／時間） 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館　1F:ＣＲ薄膜作製410 主担当者名田口 香