名称等イオンミリング装置 設備分類加工技術(表面処理改質)
製造元コモンウェルス 仕様・品質等ミラトロンⅣ
用途等

アルゴンイオンによる表面の微細加工

詳細仕様

ビーム径:φ4″、基板サイズ:最大φ3″、加速電圧:200から2,000V、最大ビーム電流:250mA

使用料1,940(円/時間) 導入年度平成4年度
設置場所高度技術研究館 1F:CR薄膜作製410 主担当者名鈴木 淑男    
担当部署上級主席研究員  副担当者名