名称等除振台 設備分類その他
製造元明立精機 仕様・品質等MAPS－008A－G1010
用途等

精密測定における外部の振動の影響を抑えるために振動を減衰させる装置
詳細仕様

・定盤の材質は黒御影石（１級）以上
・定盤のサイズは1000mm×1000mm×200mm以上
・除振機構：定盤に対するアクティブ制御機構を有し，水平XY方向，鉛直Z方向およびその回転方向を制御する６自由度制御可能
・固有周波数：垂直，水平とも１Hz以下
・除振性能：パッシブ除振とアクティブ除振含む除振機構において，鉛直Z方向の外乱10nm以下の振幅，DC～500Hzまでの振動に対して除振可能
・位相特性：アクティブ制御範囲内にて位相遅れが90度以下
・水平維持：水平の位置決め精度は，定盤（水平XY方向）に対して鉛直Z方向の振動をアクティブ制御範囲内で±10μm以下に自動水平維持可能
使用料270（円／時間） 導入年度平成22年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名荒川　亮