名称等走査型プローブ顕微鏡 設備分類計測技術（形状寸法など）
製造元エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 仕様・品質等L-trace Ⅱ
用途等

試料６インチサイズを設置でき，微細な表面形状の測定
詳細仕様

ＡＦＭ（原子間力顕微鏡測定），X-Y方向の測定範囲90μm，分解能0.5nm，Z方向の測定範囲6μm，分解能0.05nm
使用料680（円／時間） 導入年度平成24年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名荒川　亮