名称等レーザ干渉変位計システム 設備分類計測技術（電磁光音など）
製造元株式会社小野測器 仕様・品質等LV-2100
用途等

わずかに周波数が異なる信号光と，参照光のレーザ光を重ね合わせて，そのビート（うなり）信号を検出する測定手法
詳細仕様

①測定分解能は，0.5nm以下
②測定時の測定物までの設置距離は，100mm以上が可能
③測定にスケールやミラーなどを用いない非接触測定が可能
④測定値のアナログの出力リップルノイズは，10mVpp以下
⑤測定可能周波数は，50kHz以上
使用料130（円／時間） 導入年度平成21年度
設置場所高度技術研究館　1F:試験室（メカトロB）413 主担当者名荒川　亮