電子プローブマイクロアナライザー

試料に電子ビームを照射した時に発生する特性Ｘ線の波長と量を測定して、定性分析と定量分析を行う装置である。微細組織・形状の観察、付着物の検査、不純物・欠陥部の組織、元素の分布状態や幾何学的形状などを総合的に調べることができる。水素・ヘリウム・リチウム・ベリリウム以外の元素分析が可能。

分析元素範囲　　５Ｂから９２Ｕ
Ｘ線分光範囲　　0.087から9.3nm
加速電圧　　　　0.2～30KV
照射電流範囲　　10?１２から10?５A
二次電子分解能 6nm（WD11mm，30KV）
走査倍率　　　　×40～300,000（WD11mm）