名称等電子プローブマイクロアナライザー 設備分類評価技術(化学組成など)
製造元日本電子㈱ 仕様・品質等JXA-8200ほか
用途等

試料に電子ビームを照射した時に発生する特性X線の波長と量を測定して、定性分析と定量分析を行う装置である。微細組織・形状の観察、付着物の検査、不純物・欠陥部の組織、元素の分布状態や幾何学的形状などを総合的に調べることができる。水素・ヘリウム・リチウム・ベリリウム以外の元素分析が可能。

詳細仕様

分析元素範囲  5Bから92U
X線分光範囲  0.087から9.3nm
加速電圧    0.2~30KV
照射電流範囲  10?12から10?5A
二次電子分解能 6nm(WD11mm,30KV)
走査倍率    ×40~300,000(WD11mm)

使用料1,680(円/時間) 導入年度平成13年度
設置場所本館 A棟2F:電子顕微鏡室 主担当者名菅原 靖   
担当部署先端機能素子開発部 機能性材料Gr 副担当者名