名称等低温灰化装置 設備分類加工技術(素形材成形)
製造元ヤマト化学 仕様・品質等PDC-210
用途等

・高分子材料の灰化、表面処理
・ウェハーのアッシング、エッチング
・CSP、BGA,、COB基盤のプラズマ処理
・有機膜、金属酸化膜の除去
・レジン基盤のドライクリーニング
・界面活性処理

詳細仕様

電極構造:平行平板(電極感固定)

高周波出力:MAX500W

発振周波数:13.56MHz 水晶発振

反応ガス:2系統(アルゴン、酸素)

パージガス:窒素又はドライエア

使用料680(円/時間) 導入年度平成15年度
設置場所本館 A棟2F:化学試験室 主担当者名工藤 素   
担当部署素形材プロセス開発部 複合材料Gr 副担当者名