名称等低温灰化装置 設備分類加工技術（素形材成形）
製造元ヤマト化学 仕様・品質等ＰＤＣ－２１０
用途等

・高分子材料の灰化、表面処理
・ウェハーのアッシング、エッチング
・CSP、BGA,、COB基盤のプラズマ処理
・有機膜、金属酸化膜の除去
・レジン基盤のドライクリーニング
・界面活性処理
詳細仕様

電極構造：平行平板(電極感固定)

高周波出力：MAX500W

発振周波数：13.56MHｚ　水晶発振

反応ガス：2系統(アルゴン、酸素)

パージガス：窒素又はドライエア
使用料680（円／時間） 導入年度平成15年度
設置場所本館　A棟2F:化学試験室 主担当者名工藤 素