超精密成形形状研削盤

研削砥石を用いて、被加工物の平面並びに曲面形状を精密に研削でき、研削加工のみで鏡面精度が得られる加工装置です。

(1) 加工範囲とチャック寸法
・加工可能なテーブル作業面の大きさは、左右（X）600mm×前後（Y）300mm×上下（Ｚ）200mm
・加工物を保持チャックは永電磁チャックであり、その寸法は600mm×300ｍｍ、耐荷重は100kg
(2) 加工精度・加工能率
・左右（X）・前後（Y）・上下（Z）軸最小設定単位は0.1μm
・位置決め精度に影響する各軸のフィードバックスケールは0.01μm
(3) 加工性能
・平面加工の場合、表面粗さRa0.01μm以下、Rz0.05μm以下の鏡面加工が可能
・非球面加工、コンタリング（輪郭）加工、同時３軸加工によるクラウニング（凹面・凸面形状）加工が可能